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产品篇||FFU的特点及性能参数

浏览数量: 7     作者: 本站编辑     发布时间: 2022-12-06      来源: 本站

产品篇  FFU  FAN FILTER UNIT

    风机过滤机组是一种自带动力的送风过滤装置,英文全称为(Fan Filter Unit),具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机过滤机组从顶部将空气吸和并经HEPA或ULPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%左右的速度均匀送出。

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FFU的特点 CHARACTERISTIC

    FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU一般上面部分为风机模块,底部为空气过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可选用不同等级的(HEPA)或(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU配套过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,并且可模块化链接使用,目前已广泛应用于工业洁净室。

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灵活性

    因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应的调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松。

负压通风

    FFU本身能够静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内,使得密封变得很简单而且安全。

缩短建设周期

   使用FFU省掉了风箱的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。

减少运行成本

    虽然选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但在它后期运行中,能够表现出节能、维护方便等特点。高达减少40%的运行成本。

FFU组合的性能参数

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    模数尺寸:安装吊顶龙骨中心线的间距,FFU常用的标准模数尺寸为1200*600(4'*2')、1200*900(4'*3')、1200*1200(4'*4')。

    实际尺寸:FFU过滤器的实际尺寸=模块尺寸-(龙骨断面宽度-25mm),风机模块的实际尺寸比过滤器稍大5mm左右。比如说常用的圆顶龙骨端面宽度为55mm,模数尺寸为1200,900,600所对应的FFU过滤器实际尺寸1170,870,570,风机模块的实际尺寸为1175,874,574。

    机外余压:在某一设定风速下,风机模块的总静压下(TSP)扣除HEPA/PA过滤器的阻力,即为机外余压(ESP),单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力,无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP,都必须指明送风风速或风量。

    输入能耗:FFU正常运转时输入电压或输入电流的乘积,单位是W。显然,FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,输入能耗不同。因此,如果不指名运行工况点,输入能耗值没有意义。

    单位噪音:根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2m处的噪音值,单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,噪音不同。因此,如果不指明运行工况点,噪音值没有意义。微振:根据标准IES-RP-CC002,FFU在大运转工况点时的振动幅度和振动速率,单位分别是mm和mm/s。

    送风均匀度:根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时,在距离出风面下方150mm(6'')的水平面上测量逐点的风速,得出平均风速值。平均风速与大风速和小风速的偏差比即为送风均匀度,单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。

    过滤器效率等级:依据欧洲标准EN1822,过滤器等级从H10-H14,U15-U17,或依据美准MIL-282(HEPA)对于0.3um的效率值;依据美准IES-RP-CC007.1,对于0.12um的效率值。

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