洁净室发展历程CLEAN ROOM DEVELOPMENT HISTORY洁净产业发展历程现代洁净室起源于战争时期的军事工业。20世纪50年代朝鲜战争时期，美国在战争中发现大量电子仪器出现故障，有超过80%的雷达失效，接近50%的水声测位仪失效，陆军中70%的电子设备失效，并且每年的维护费用超出原价的2倍，原因在于零部件可靠性差，质量不稳定。最终，美军找到的主要原因是灰尘在作怪，工厂生产环境不清洁，导致生产出来的零部件合格率低，尽管当时采取非常严密的措施来封闭生产车间，但仍收效甚微，后来将高效空气过滤器应用于生产车间后，才解决此类问题，这也是现代洁净室的诞生。洁净室产业的发展可分为5个阶段，每
洁净室定义TECHNOLOGICAL01术语定义空气洁净技术已成为科学实验和生产活动现代化的标志之一。在产品生产或科学研究中，为了防止有害因素对室内工作环境的污染，提高产品的合格率或科学研究的成功率，空气洁净技术被广泛应用。
风机过滤单元风机过滤单元（Fan Filter Unit, FFU）是近年来高等级洁净室末端净化使用最广泛的产品之一，具有模块化、可再利用性、灵活性及缩短建设成本等诸多优势。风机过滤单元由风机、箱体、控制器等部件构成。根据风机中所使用的电机种类，可分为交流风机和直流风机。早期的风机过滤单元多为交流风机，但近年来随着对节能越来越重视，以及小型直流风机技术的日趋成熟，直流FFU已经成为行业内主流。直流FFU的生命周期成本可比交流FFU降低约24.6%，这个数据对于动辄使用上万台乃至几万台FFU的半导体洁净室来说，具有巨大的吸引力。FFU的箱体导流设计技术，也为FFU的节能做出了巨大贡献。国内FFU的知名品牌“山东新力”，不断研发自主创新进行FFU箱体及配件优化，可在直流风机自身总效率60%的基础上，将FFU整机机械效率提升7%，达到63%。
